กระจก ITO ทำอย่างไร
Jul 31, 2023
ฝากข้อความ
แก้ว ITO ผลิตขึ้นมาได้อย่างไร?
โดยทั่วไปแล้วแก้ว ITO จะทำผ่านกระบวนการที่เรียกว่าการสะสมไอทางกายภาพ (PVD) โดยเฉพาะการสปัตเตอร์ ต่อไปนี้เป็นขั้นตอนทั่วไปที่เกี่ยวข้องกับการผลิตกระจก ITO:
พื้นผิวกระจก:เริ่มต้นด้วยซับสเตรตแก้วคุณภาพสูง เช่น โซดาไลม์หรือแก้วบอโรซิลิเกต พื้นผิวควรสะอาดและปราศจากสิ่งปนเปื้อน
การทำความสะอาด:ทำความสะอาดพื้นผิวกระจกอย่างละเอียดเพื่อขจัดฝุ่น น้ำมัน หรือสิ่งเจือปนที่อาจส่งผลต่อคุณภาพของการเคลือบ ITO โดยทั่วไปจะทำโดยใช้การทำความสะอาดด้วยสารเคมี อ่างอัลตราโซนิก และการล้างด้วยน้ำปราศจากไอออน
ใส่พื้นผิวกระจก:วางพื้นผิวกระจกที่ทำความสะอาดแล้วไว้ในห้องสุญญากาศหรือระบบสปัตเตอร์ เพื่อให้แน่ใจว่ายึดเข้าที่อย่างแน่นหนา
การเตรียมเป้าหมาย:เตรียมเป้าหมายอินเดียมทินออกไซด์ (ITO) ซึ่งเป็นวัสดุแข็งที่ประกอบด้วยอินเดียมออกไซด์และดีบุกออกไซด์ในอัตราส่วนที่ต้องการ โดยปกติแล้วชิ้นงานจะทำโดยใช้เทคนิคโลหะผสมผงและขึ้นรูปเป็นแผ่นหรือรูปทรงสี่เหลี่ยมผืนผ้า
กระบวนการสปัตเตอร์:ในห้องสปัตเตอร์ริ่ง ให้สร้างสภาพแวดล้อมที่มีแรงดันต่ำและป้อนก๊าซเฉื่อย เช่น อาร์กอน ใช้ศักย์ไฟฟ้าแรงสูงกับเป้าหมาย ITO ส่งผลให้ไอออนจากก๊าซเฉื่อยชนกับพื้นผิวเป้าหมาย การชนกันนี้จะทำให้อะตอมหลุดออกจากเป้าหมาย แล้วสะสมไว้บนพื้นผิวแก้ว
การสร้างภาพยนตร์:เมื่ออะตอม ITO ที่สปัตเตอร์ถูกดีดออกจากเป้าหมาย อะตอมเหล่านี้จะเคลื่อนที่ผ่านห้องสุญญากาศและเกาะตัวอยู่บนพื้นผิวของซับสเตรตที่เป็นแก้ว กระบวนการสะสมจะดำเนินต่อไปจนกว่าจะได้ความหนาที่ต้องการของชั้น ITO ความหนาสามารถควบคุมได้โดยการปรับเวลาการสะสมและพารามิเตอร์การสปัตเตอร์
หลังการประมวลผล:เมื่อชั้น ITO ถูกทับถมแล้ว อาจต้องผ่านการบำบัดเพิ่มเติม เช่น การอบอ่อนหรือการให้ความร้อน เพื่อปรับปรุงค่าการนำไฟฟ้า การยึดเกาะกับซับสเตรตแก้ว และคุณภาพฟิล์มโดยรวม
การตรวจสอบและควบคุมคุณภาพ:กระจกเคลือบ ITO สุดท้ายได้รับการตรวจสอบความสม่ำเสมอ การยึดเกาะ ความโปร่งใส และการนำไฟฟ้า อาจมีการทดสอบต่างๆ เพื่อให้แน่ใจว่าฟิล์มมีคุณสมบัติตรงตามข้อกำหนดที่กำหนด
รายละเอียดที่แน่นอนของกระบวนการผลิตอาจแตกต่างกันไปขึ้นอยู่กับอุปกรณ์เฉพาะ องค์ประกอบเป้าหมาย และคุณสมบัติของฟิล์ม ITO ที่ต้องการ โดยทั่วไปเทคนิคการสปัตเตอร์จะใช้สำหรับการผลิตแก้ว ITO แต่ก็สามารถใช้วิธีอื่นๆ เช่น การระเหยลำอิเล็กตรอน หรือการตกสะสมไอสารเคมี (CVD) ได้เช่นกัน
มีโซลูชันกระจก ITO แบบกำหนดเองให้เลือก! โปรดติดต่อ KONSHEN Glass ได้ตลอดเวลาเพื่อสอบถามความต้องการเฉพาะของคุณ หรือส่งแบบแปลนของคุณมาให้เรา ในฐานะผู้ผลิตกระจกมืออาชีพ KONSHEN Glass เชี่ยวชาญในการจัดหาโซลูชันกระจก ITO ที่ปรับแต่งตามความต้องการของคุณ